激光振镜
| 参数 | S10-I 静态式扫描振镜 | S16-I 静态式扫描振镜 | S20-I 静态式扫描振镜 |
|---|---|---|---|
| 通光孔径 | 10 mm | 16 mm | 20 mm |
| 线性度 | > 99 % | > 99 % | — |
| 重复精度 | < 2 µrad | < 2 µrad | < 2 µrad |
| 小步阶响应时间 | 0.3 ms | 0.45 ms | 0.45 ms |
| 追踪时间 | 0.3 ms | 0.4 ms | — |
| 标记速度 | 4000 mm/s | 5000 mm/s | 5000 mm/s |
| 定位速度 | 10000 mm/s | 10000 mm/s | 10000 mm/s |
| 扫描角度 | ± 16.5° | ± 16.5° | — |
| 入射光斑 | 10 mm | 16 mm | 20 mm |
| 增益漂移 | < 50 ppm/K | < 50 ppm/K | < 50 ppm/K |
| 零点漂移 | < 35 µrad/K | < 35 µrad/K | < 35 µrad/K |
| 8小时温漂(预热30分钟后) | < 0.5 mrad | < 0.5 mrad | — |
| 供电电源 | ± 15 V / 3 A | ± 15 V / 3 A | ± 15 V / 3 A |
| 输入信号协议 | XY2-100 | XY2-100 | XY-100 |
| 镜片反射波长 | 355 / 450 / 532 / 1064 / 10600 nm | 355 / 532 / 1064 / 10600 nm | 1064 / 10600 nm |
| 镜片材质 | K9 / Si | K9 / Si | K9 / Si |
| 外形尺寸 | 85 × 87 × 110 mm | 85 × 87 × 110 mm | 85 × 87 × 110 mm |
| 反射率 | — | — | > 99 % |
| 机械扫描角度 | — | — | ≥ 16.5° |
| 非线性度 | — | — | > 99.9 %,至少 31 点拟合 |
| 面型 | — | — | φ14 区域 1/2λ |
当前位置:

